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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLESLeica Microsystems 推出了用于非破壞性三維輪廓測量的Leica DCM8。該儀器是一款結(jié)合了共聚焦和干涉技術(shù)的光學(xué)輪廓儀,因此,能夠?qū)崿F(xiàn)兩種技術(shù)的優(yōu)勢:高清晰度共聚焦顯微鏡能實現(xiàn)較高的橫向分辨率,干涉技術(shù)能實現(xiàn)納米級的垂直分辨率。這兩種技術(shù)在眾多研究和生產(chǎn)環(huán)境中對材料和部件的輪廓分析都十分重要。結(jié)構(gòu)錯綜復(fù)雜且具有高斜率區(qū)域的表面需要達(dá)到幾微米的橫向分辨率。相對而言,具有極小關(guān)鍵峰谷的極其光滑的拋光表面則需要達(dá)到納米級的垂直分辨率。
使用Leica DCM8,用戶能夠滿足他們具體的輪廓測量需求——通過共聚焦顯微鏡可實現(xiàn)高達(dá)140 nm 的橫向分辨率,通過干涉可以實現(xiàn)高達(dá)0.1 nm 的垂直分辨率。
產(chǎn)品管理團(tuán)隊業(yè)務(wù)部的團(tuán)隊負(fù)責(zé)人Stefan Motyka 表示:“Leica DCM8 是一款能節(jié)約時間和成本的多功能精確輪廓儀。用戶無需為了同時使用共聚焦和干涉技術(shù)觀察和測量同一個樣本而更換儀器,他們只需要一臺儀器。此外,顯微鏡的設(shè)置和運行易于操作,十分省力,且能十分快速方便地獲得精確的結(jié)果。"
為了達(dá)到如此之高的分辨率和速度,Leica DCM8 的測量頭采用了不帶任何運動部件的共聚焦掃描技術(shù),以增強(qiáng)再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。在兩種技術(shù)間切換只需輕點鼠標(biāo),既快速又簡單。
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