Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 白光干涉技術(shù)

Sensofar共聚焦白光干涉儀為了測(cè)量非常光滑的表面到中等粗糙表面的表面高度，開發(fā)了干涉技術(shù)，可在任何放大倍率下實(shí)現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲。對(duì)于 PSI，它可實(shí)現(xiàn)優(yōu)于 0.01 nm 的系統(tǒng)噪聲。

背景

干涉工作原理

干涉技術(shù)的工作原理是：將光分成光學(xué)傳播路徑不同的兩個(gè)光束，然后再合并，從而產(chǎn)生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作；焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)后，可在樣本上觀察到條紋。

光學(xué)方案

PSI 的光學(xué)方案與 FV 具有相同配置，但是現(xiàn)在采用干涉物鏡而不是明場(chǎng)。為了獲得形貌，沿著 Z 方向掃描傳感器頭。對(duì)于 PSI，掃描幾微米，并檢索相位。對(duì)于 CSI，掃描需要的微米數(shù)，以掃描完整表面。

PSI :相移干涉

對(duì)于所有數(shù)值孔徑 (NA)，開發(fā)了相移干涉法(PSI)，以亞埃分辨率測(cè)量高度光滑和連續(xù)表面的高度。可以使用極低的放大率 (2.5X) 測(cè)量具有相同高度分辨率的大視場(chǎng)。

EPSI:擴(kuò)展相移干涉技術(shù)

EPSI 結(jié)合了兩種干涉測(cè)量技術(shù)，CSI（白光干涉） 和 PSI（相移干涉），在具備數(shù)百微米的高度掃描范圍的同時(shí)，也能擁有0.1 nm的高度測(cè)量分辨率，從而克服這兩種測(cè)量方式本身的技術(shù)限制。

CSI:相干掃描干涉

相干掃描干涉法(CSI) 使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均達(dá)到 1 nm 的高度分辨率。

專屬算法

Sensofar共聚焦白光干涉儀采用干涉法，3D 測(cè)量能以高精度進(jìn)行?？裳?Z 軸掃描，在整個(gè)樣本

主要特征

   Sensofar共聚焦白光干涉儀帶納米系統(tǒng)噪聲的大視場(chǎng)，無論 物鏡如何  

   PSI：0.01 nm 系統(tǒng) 噪聲 

   從 1.5 μm 至 100 μm的厚度測(cè)量

上獲得條紋，分別從 PSI 或 CSI 的干涉圖強(qiáng)度或相位獲取高度信息，用獲取的不同像素的高度重新構(gòu)建 3D 圖像

干涉環(huán)

在森索法爾，我們一直致力于提高我們的干涉儀設(shè)備的性能。這就是為什么我們?cè)谖覀兊?0XDI和20XDI鏡頭中增加了一個(gè)參考鏡調(diào)節(jié)環(huán)的原因。這個(gè)小巧但功能強(qiáng)大的增加件使我們能夠微調(diào)每個(gè)四個(gè)光源的參考鏡的位置，確保在全色譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的性能，并產(chǎn)生更準(zhǔn)確的干涉測(cè)量結(jié)果。

干涉系統(tǒng)