在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及納米技術(shù)等領(lǐng)域,掃描電鏡(SEM)作為重要的分析工具,其應(yīng)用日益廣泛。澤攸科技推出的臺(tái)式掃描電鏡,憑借其緊湊的設(shè)計(jì)、高清晰度的成像及便捷的操作流程,受到了科研人員的青睞。以下將詳細(xì)介紹澤攸臺(tái)式掃描電鏡的使用方法。
一、準(zhǔn)備工作
1.環(huán)境準(zhǔn)備:確保操作環(huán)境相對(duì)干燥、無(wú)塵、無(wú)震動(dòng),以保證掃描效果的穩(wěn)定和準(zhǔn)確。
2.樣品準(zhǔn)備:樣品表面需進(jìn)行導(dǎo)電處理,如金屬噴霧或蒸鍍,以消除電荷積累對(duì)成像的影響。同時(shí),樣品表面應(yīng)光滑平整,避免劃痕或污染。
3.設(shè)備檢查:檢查掃描電鏡各部件是否完好,電源連接是否穩(wěn)定,真空泵是否正常工作。
二、開機(jī)與樣品放置
1.開機(jī):按照正確的順序開啟各部件的電源,先開啟電鏡控制器,再開啟高壓電源等。
2.放入樣品:將準(zhǔn)備好的樣品放置在樣品臺(tái)上,并固定好。
3.抽真空:?jiǎn)?dòng)真空泵,將真空度抽至0.01并保持,直至開槍按鈕常亮后,點(diǎn)擊開槍按鈕。
三、參數(shù)設(shè)置與圖像調(diào)整
1.電壓設(shè)置:根據(jù)需要設(shè)定合適的電壓值。
2.光斑直徑與亮度對(duì)比度:將“光斑直徑”調(diào)整至“粗”或“中”,勾選“自適應(yīng)”按鈕,調(diào)整“亮度”和“對(duì)比度”,直至出現(xiàn)較為明亮的圖像。
3.聚焦與微調(diào):粗調(diào)“聚焦”條,使圖像初步清晰。然后,在低倍數(shù)下將倍數(shù)放大至大于所需拍攝倍數(shù),如拍攝1000倍則放大至5000或10000倍,通過(guò)“聚焦微調(diào)”圓鈕調(diào)整至圖像清晰。隨后,切換至“鏡組配置”,調(diào)整“消像散”條,進(jìn)一步優(yōu)化圖像清晰度。
四、拍照與保存
1.倍數(shù)調(diào)整:將倍數(shù)調(diào)整至所需拍照倍數(shù)。
2.拍照設(shè)置:選擇合適的采集幀數(shù)和平均點(diǎn)數(shù)。關(guān)閉十字準(zhǔn)心,準(zhǔn)備拍照。
3.拍照與保存:點(diǎn)擊拍照按鈕,完成拍攝。及時(shí)保存圖像和數(shù)據(jù),以免丟失。
五、高倍拍攝與SE模式切換
對(duì)于需要拍攝高倍圖像的情況,可重復(fù)上述低倍拍攝步驟,并在調(diào)焦、像散調(diào)整等環(huán)節(jié)更加精細(xì)。此外,澤攸臺(tái)式掃描電鏡還支持SE模式拍攝,通過(guò)點(diǎn)擊“基礎(chǔ)”選項(xiàng)卡中的“se”按鈕,輸入合適的收集電壓并調(diào)整se增益,即可切換到SE模式進(jìn)行觀察和拍照。
六、關(guān)機(jī)與維護(hù)
1.關(guān)機(jī):按照正確的順序關(guān)閉各部件電源,先關(guān)閉高壓電源,再關(guān)閉電鏡控制器等。
2.維護(hù):定期對(duì)掃描電鏡進(jìn)行清潔和維護(hù),如清理樣品室、檢查真空泵等部件的工作狀態(tài)。注意在維護(hù)過(guò)程中遵循安全規(guī)范,如斷電、拔掉電源線等。
通過(guò)以上步驟,用戶可以輕松掌握澤攸臺(tái)式掃描電鏡的使用方法,并在科研和生產(chǎn)中發(fā)揮其強(qiáng)大的分析功能。