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Sensofar共聚焦白光干涉儀對透鏡、微透鏡陣列測量分析

更新時(shí)間:2024-10-16點(diǎn)擊次數(shù):200

眾所*,光學(xué)應(yīng)用是一個(gè)具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用:樣品非常光滑、平坦,有時(shí)是透明的。只有*端輪廓儀才能對其進(jìn)行成像,并滿足該領(lǐng)域的嚴(yán)格要求。我們對透鏡和濾光片的經(jīng)驗(yàn)在于器件粗糙度、微透鏡陣列和薄膜厚度的測量。


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微透鏡陣列

球面透鏡

球面透鏡具有更簡單的設(shè)計(jì)和更低的制造成本,應(yīng)用范圍廣泛。

可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。

非球面透鏡

以其較小的像差而著稱,非球面透鏡適用于光學(xué)設(shè)計(jì),有極少的元件會(huì)尋求更好的性能。

可以分析曲率半徑,尺寸和10個(gè)非球面變形系數(shù)以及Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。

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相機(jī)鏡頭

可以在我們的軟件SensoVIEW中執(zhí)行量測區(qū)域的體積計(jì)算。

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 SensoVIEW分析軟件對不同尺寸的孔具有非常高的靈敏度(該樣品的d=2mm)。

多邊形透鏡

六邊形微透鏡是透鏡微陣列中使用的典型幾何結(jié)構(gòu),它們因其高密度而引人注目。

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