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臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析
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PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場測量系統(tǒng)是原位透射電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個(gè)可控的多場環(huán)境(包括力、熱、光、電等),從而對材料或者器件等樣品實(shí)現(xiàn)多重激勵(lì)下的原位表征。
低溫液氮探針臺(tái) LN-4H-06主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺(tái)、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)。
超低震動(dòng)干式液氦光學(xué)液氦低溫恒溫器,使用氣體導(dǎo)熱隔震,實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)納米級的機(jī)械穩(wěn)定性。為有效降低環(huán)境震動(dòng)影響,產(chǎn)品設(shè)計(jì)安裝在光學(xué)隔震平臺(tái)上。
室溫自動(dòng)探針臺(tái) TZ-H-06高可靠性探針臺(tái)系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子, 電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMs,生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)可定制手動(dòng)探針臺(tái) 系統(tǒng),整套系統(tǒng)包配置有探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等。
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